タングステンモリブデンタンタルニオブ金属製品の使用率の増加に伴い、ほこり、油、酸化物などの表面に残留物が存在する可能性があり、ターゲットの表面にさまざまな程度のノジュレーションが発生します。製品の品質も低下し、製造コストが増加します。したがって、製品は十分に洗浄する必要があります。
製品を洗浄する目的は、ターゲット表面に存在する可能性のある不純物、ほこりまたは汚れを取り除くことです。洗浄は以下の方法で行うことができます。手で直接触れないように製品を掃除するときは、清潔でふわふわしない保護手袋を着用してください。
（1）大きな粒子を取り除き、掃除機を使用して製品の表面にある大きな粒子を取り除きます
（2）サンドペーパー研磨：対応するメッシュ番号のサンドペーパーを使用して、製品の表面を研磨します。ターゲットの研削方向がターゲットのスパッタリング表面によって形成された滑走路の方向と一致している場合は、同時に、滑走路の中央表面の黄色の酸化物層を研磨して、酸化物と不純物を除去する必要があります。スパッタリング面。
（3）洗浄・除塵：ターゲットのスパッタ面をサンドペーパー研磨により発生するゴミ・粉じんを掃除機で除去します。
金属製品のメンテナンス
製品を使用しないときは、防湿剤を付着させた真空密閉ビニール袋に保管することをお勧めします。特に、貼り合わせ品質に影響を与えるラミネート層の酸化を防ぐために、ラミネート製品は真空で保管する必要があります。その外側のパッケージは通常、輸送および保管中の損傷からターゲットとバックターゲットを保護するために、その周囲に耐衝突層を備えた木製のケースです。
